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發明名稱  全文 
   
 
專利號:200810087497
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涂布裝置及涂布方法

本發明提供一種即使在引導支承架行走的導軌被分割的情況下,也能夠避免大量地生產不良基板、并能夠提高涂布基板的合格率的涂布裝置及涂布方法。該涂布裝置具備:配設有保持基板的載物臺的基臺、在上述基臺上被設置成沿特定方向延伸的狀態且被分割成多個的軌道、以及沿上述軌道相對上述基板進行相對行走并向上述基板上涂布涂布液的涂布單元;該涂布裝置具有如下構成:設置了檢測上述涂布單元的動作的變動的檢測機構,根據該變動檢測機構檢測出的結果來判斷基板上的涂布狀態是否良好,在判斷涂布狀態不適當的情況下,使上述涂布單元停止。

涂布裝置及涂布方法

一種涂布裝置,具有:配設有保持基板的載物臺的基臺、在所述基臺上以向特定方向延伸的狀態設置并被分隔為多個的軌道、以及沿著所述軌道相對于所述基板相對地行走并且向所述基板涂布涂布液的涂布單元,其特征在于,    設置檢測所述涂布單元的動作變動的變動檢測機構,根據該變動檢測機構的檢測結果來判斷基板上的涂布液的涂布狀態。
 


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專利號: 200810087497
申請日: 2008年3月28日
公開/公告日: 2008年10月1日
授權公告日:
申請人/專利權人: 東麗工程株式會社
國家/省市: 日本(JP)
郵編:
發明/設計人: 森俊裕、中澤源伸
代理人: 陳建全
專利代理機構: 永新專利商標代理有限公司(72002)
專利代理機構地址: 香港九龍尖沙咀東部科學館道1號康宏廣場南座18樓1805-6室()
專利類型: 發明
公開號: 101274313
公告日:
授權日:
公告號: 000000000
優先權: 日本2007年3月29日086832/2007
審批歷史:
附圖數: 6
頁數: 12
權利要求項數: 2
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